福建日报记者 徐士媛 通讯员 林斯乾
一颗芯片放大一万倍，会是什么样？
“它会呈现出如现代城市一般鳞次栉比的复杂结构。”位于福建上杭蛟洋工业园区的福建德尔科技股份有限公司内，全国劳模、德尔科技董事会秘书林德荣捏起一片只有指甲盖大小的芯片回答。芯片虽小，却可能排列着近百亿个晶体管和数十亿条线路，需要使用超净高纯电子气体或半导体级湿电子化学品清洗其中的缝隙。
对早已进入纳米精度级别的芯片来说，“清洗剂”的纯度极为关键。“以前，电子级三氟化氯这种清洗芯片的关键材料长期被日本垄断。”林德荣说。然而，这家扎根于闽西红土地上的科技独角兽企业，如今已冲破了电子级三氟化氯生产的技术壁垒，成为国内首家规模化生产电子级三氟化氯的企业，实现了电子级三氟化氯国产替代进口。
走进德尔科技的生产车间，技术人员紧盯着设备的参数变化，一手把着材料气的进气阀门，一脚搭着天然气的进气阀门，目光不敢移开片刻。“通过智能化控制及人工控制‘双保险’，可以在合成反应过程出现突发状况时及时调整，避免安全事故。”林德荣轻声解释，对他们而言，维持这样的动作半个小时是家常便饭。
电子级三氟化氯是电子特气领域的“珠穆朗玛峰”。“氟和氯都是负电性，合成气体的难度极高，产品稳定性低。合成后如何提纯、剔除其他杂质气体等等，都是要突破的难题。”谈起三氟化氯攻关历程，林德荣十分感慨，为了捕捉瞬时化学反应的细微变化，工程师常连续24小时轮番值守，实验室常常在深夜灯火通明。
曲线出现异常波动，就轮流盯着记录；不知选择哪种催化剂，就依托公司国家级企业技术中心的仿真计算中心反复验算；买不到三氟化氯色谱检测设备，就自己开发首台套……三年技术攻关路，技术工程师既经历过令人窒息的失望，也感受过取得突破的喜悦。最终，德尔科技成功制备出纯度高达99.99%的电子级三氟化氯。
180多位专职技术研究人员，2025年研发投入将近6000万元，累计解决包括三氟化氯在内的13项“卡脖子”材料难题……“紧盯市场所需，急国家所急，舍得投入创新——这是公司在半导体材料战场上的破局秘诀。”林德荣表示，韩国三星、台积电、中芯国际、长江存储等头部半导体企业，现在都成了德尔科技的客户。
高新企业的成长，同时离不开上杭这块红土地的滋养。“这里的政企互动特别通畅，政府不仅督查项目进度，还会主动协调解决企业碰到的难题。”林德荣说，为改变当地原先的崎岖地貌，公司制定了土地连片开发方案，上杭县委县政府主动帮助沟通协调，为企业排忧解难。在政府的助力支持下，2025年，公司营收获得历史新高，首次超过20亿元，净利润同比增长超过50%。
“当前企业发展基本面扎实，全产业链发展韧性和企业未来盈利态势良好。”展望未来，林德荣信心满怀。公司将根据不同业务的周期特点，制定差异化目标。在进一步提升单一客户订单量的同时，持续拓展新客户体量，快速扩大产能投放。“2026年，公司营收有望冲击30亿元。”
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